方塊電阻測定儀用于測量半導(dǎo)體材料（硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。 儀器是配精度為0.05%的恒流源、恒流源開關(guān)以及雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時(shí)，數(shù)字表監(jiān)測電流變化，儀器可選配測量軟件用于測量硅片時(shí)可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算出硅片電阻率、徑向電阻率的MAX百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度。 規(guī)格參數(shù) 測量范圍： 測電阻率：0.00001～199000Ω·cm 測方塊電阻：0.001～1000000Ω/□ 恒流源： 直流輸出電流：0.001～100mA五檔可調(diào) 量程范圍：0.001～0.01mA、0.01～0.10mA、0.10～1.0mA、1.0～10mA、10～100mA 恒流精度：±0.05% 直流數(shù)字電壓表： 測量范圍：0～199.99mV 靈敏度：1μV 基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%） 輸入阻抗：≥1000MΩ 測量精度：1～1000Ω·cm≤3% 供電電源：AC 220V±10%，50z/60Hz 功率范圍：12W 環(huán)境溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65% 四探針電阻率/方阻測試儀0.00001-19900Ω·cm（高阻型）
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