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地 址：北京市石景山區(qū)城通街26號(hào)
電 話(huà)：010-89942170/89942167
手 機(jī)：15652257065
傳 真：010-89942170
聯(lián)系人：張先生
郵 編：100055
網(wǎng) 址：www.cz-hh.com
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產(chǎn)品型號(hào)： |
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產(chǎn)品名稱(chēng)： |
ZH5497型箱式多弧磁控鍍膜機(jī) |
產(chǎn)品報(bào)價(jià)： |
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產(chǎn)品特點(diǎn)： |
1 真空室：鍍膜室尺寸900×900×1000mm3 ；箱式，前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)；2 抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵：前泵70L/S；維持泵：2×-8旋片泵；羅茨泵：擴(kuò)散泵：腔擴(kuò)泵；分子泵﹝選配﹞3 限真空：5×10-4Pa; 恢復(fù)真空：5×10-3Pa﹝小于20min﹞;4 鍍膜系統(tǒng)：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源； |
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ZH5497型箱式多弧磁控鍍膜機(jī) 的詳細(xì)資料： |
| ZH5497型箱式多弧磁控鍍膜機(jī) | | 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
該鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼，鉻，鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質(zhì)或裝飾涂層，具有鍍膜速度快，膜層好的優(yōu)點(diǎn)。
1 真空室：鍍膜室尺寸900×900×1000mm3 ；箱式，前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)；
2 抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵：前泵70L/S；維持泵：2×-8旋片泵；羅茨泵：擴(kuò)散泵：腔擴(kuò)泵；分子泵﹝選配﹞
3 限真空：5×10-4Pa; 恢復(fù)真空：5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
4 鍍膜系統(tǒng)：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；
5 輔助鍍膜系統(tǒng)：脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
6 膜厚測(cè)量系統(tǒng)：石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)﹝選配﹞。
7 進(jìn)氣系統(tǒng)：自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路流量控制系統(tǒng)；
8 操作方式：手動(dòng)按鍵式；自動(dòng)控型配置：研華工控機(jī)，80G硬盤(pán)，512內(nèi)存+日本三菱PLC；15英寸液晶顯示觸摸屏界面；
9 旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具，速度從0～15r/min 可調(diào)；
10 工作烘烤：室溫～300 ℃；
11 供電電源：三相380V，50HZ。
|  | 北京中慧天誠(chéng)有限公司
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| 產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字： ZH5497型箱式多弧磁控鍍膜機(jī) 北京中慧天誠(chéng)有限公司 |
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